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南京天馬用的蝕刻液剝離液私人定做

來源: 發布時間:2025-10-10

利用提升泵將一級過濾罐中濾液抽取到攪拌釜內;再向攪拌釜中輸入沉淀劑,如酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,打開二級過濾罐進料管路上的電磁閥,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口流出,送往剝離成分處理系統。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。綜上,實現了對光刻膠樹脂的充分的回收利用,回收率得到提高。附圖說明圖1是本實用新型的結構示意圖;圖2是過濾筒的結構示意圖。具體實施方式如圖1、圖2所示,該光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過濾罐,所述過濾罐的數量為兩個,由一級過濾罐16和二級過濾罐13組成。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,一級過濾罐16和二級過濾罐13的進料管路15、14分別與攪拌釜10底部連通,且進料管路15、14上分別設有電磁閥18、17。所述一級過濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環料口7連通。攪拌釜10頂部另設有廢剝離液投料口5和功能切換口3。剝離液的發展趨勢如何。南京天馬用的蝕刻液剝離液私人定做

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圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結構示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結構示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結構示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的種結構示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設置通過管道40與當前級腔室101對應的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設置有閥門開關60。具體的,圖1所示出的是閥門開關60設置在管道40上的示例圖。當當前級別腔室101對應的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關60關閉當前級別腔室101對應的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通。深圳配方剝離液廠家現貨華星光電用的哪家的剝離液?

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高世代面板)表面上,或透入其表面,而把固體物料潤濕,剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。因此,本申請中的高世代面板銅制程光刻膠剝離液由酰胺、醇醚、環胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑組成。其中,酰胺可以為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種,酰胺是用于溶解光刻膠;n-甲基甲酰胺下面簡稱″nmf″醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種,醇醚是用于潤濕、膨潤、溶解光刻膠的;二乙二醇丁醚下面簡稱″bdg″。環胺與鏈胺,用于滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力;鏈胺:分子量的大小決定瞬間溶解力,分子量過大瞬間溶解力小,光刻膠未被完全溶解;分子量過小,對金屬的腐蝕性增強,影響產品質量。分子量一般在50g/mol-200g/mol,鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種;環胺:溶解光刻膠中環狀結構的樹脂,包括氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種;上述鏈胺與環胺的比例在4∶1-1∶4之間。緩蝕劑,用于降低對金屬的腐蝕速度,緩蝕劑為三唑類物質,具體為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。潤濕劑。

需要說明的是,本發明剝離液中,推薦*由上述成分構成,但只要不阻礙本發明的效果,可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說明的本發明剝離液可以通過將上述成分溶于水中來制備。需要說明的是,本發明剝離液的ph若為堿性則沒有特別限定,但通常**將上述成分溶于水就成為堿性,因此沒有特別必要調整ph。另外,本發明剝離液可以通過將上述成分分別分開預先溶于水,成為抗蝕劑的剝離液套件,將它們混合來制備。具體來說,可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進而在其中使上述其它成分適當含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過使用本發明剝離液對施加有抗蝕劑的基材進行處理,抗蝕劑被細小地粉碎。剝離液的類別一般有哪些。

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所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,所述道包括多個子管道,每一所述子管道與一子過濾器連通,且所述多個子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述子管道及每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述第二管道包括多個第三子管道,每一所述第三子管道與一子過濾器連通,且每一所述第三子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關設置在每一所述第三子管道上。本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法,包括:將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;將來自于當前級腔室經歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室。蘇州剝離液哪家好?;合肥江化微的蝕刻液剝離液按需定制

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圖3是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖二,其離子注入步驟。圖4是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示離子注入后光刻膠形成了主要光刻膠層和第二光刻膠層。圖5是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖四,其顯示光刻膠膨脹。圖6是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖五,其顯示光刻膠炸裂到臨近光刻膠。圖7是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖六,其顯示光刻膠去除殘留。圖8是本發明光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示首先剝離去除主要光刻膠層。圖9是本發明光刻膠剝離去除示意圖二,其顯示逐步剝離去除第二光刻膠層的中間過程。圖10是本發明光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示完全去除光刻膠后的襯底。圖11是采用現有技術剝離去除光刻膠殘留缺陷示意圖。圖12是采用本發明剝離去除光刻膠殘留缺陷示意圖。具體實施方式以下通過特定的具體實施例說明本發明的實施方式,本領域技術人員可由本說明書所公開的內容充分地了解本發明的其他優點與技術效果。本發明還可以通過不同的具體實施方式加以實施或應用,本說明書中的各項細節也可以基于不同觀點加以應用,在沒有背離發明總的設計思路下進行各種修飾或改變。需說明的是,在不的情況下,以下實施例及實施例中的特征可以相互組合。南京天馬用的蝕刻液剝離液私人定做

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