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如何校準水浸超聲掃描顯微鏡的定位精度？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-07-26

使用標準樣件進行三維校準。選用已知尺寸的校準塊（如含0.1mm深刻槽的金屬塊），通過軟件“三點定位法”校準X/Y/Z軸。例如，校準Z軸時，將探頭聚焦于刻槽底部，調整軟件參數使圖像顯示深度與實際值一致，重復3次取平均值確保精度≤±1μm。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介：杭州芯紀源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導體檢測設備研發制造，提供超聲檢測。
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水浸式超聲掃描儀2
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-28

    激光干涉儀輔助校準。對高精度設備（如定位精度要求≤±0.5μm的機型），需使用激光干涉儀測量運動臺的實際位移，并與軟件顯示值對比修正。例如，某科研機構通過激光干涉儀校準，將設備重復定位精度從±0.02mm提升至±0.005mm。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-07-31

    環境因素補償校準。溫度、濕度變化會影響材料聲速和機械結構穩定性，需定期進行環境補償校準。例如，在25℃室溫下，檢測前需輸入當前溫度值，軟件自動調整聲速參數（如硅材料聲速從8433m/s修正為8420m/s），避免因聲速誤差導致定位偏移。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯系人： 吳先生

手   機： 4008034068

網   址： https://www.xjy-tec.com

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浙江省杭州市市轄區良渚街道網周路99號4幢21層2103室
水浸式超聲掃描儀
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