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晶圓超聲掃描檢測前，對水質有哪些要求？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-09-13

檢測用水需為干凈去離子水，電阻率應≥1MΩ·cm，以減少水中雜質對超聲波信號的干擾；水質需定期檢測（如每周一次），避免因離子濃度升高導致檢測結果偏差。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司
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簡介：杭州芯紀源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導體檢測設備研發制造，提供超聲檢測。
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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-09-16

    去離子水需滿足以下條件：pH值6.5-7.5（中性環境避免腐蝕晶圓）、溶解氧含量<1ppm（防止氣泡產生）、微生物含量<10CFU/mL（避免生物污染）；水質更換周期需根據使用頻率調整（如每日檢測需每8小時更換一次）。

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    杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-09-19

    水質管理關鍵點包括：使用專門儲水罐（避免交叉污染）、安裝在線過濾系統（實時去除顆粒物）、定期清洗水槽（防止藻類生長）；若檢測高精度晶圓（如12英寸），需采用超純水（電阻率≥18MΩ·cm）。

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企業信息

杭州芯紀源半導體設備有限公司

聯系人： 吳先生

手   機： 4008034068

網   址： https://www.xjy-tec.com

地   址：
浙江省杭州市市轄區良渚街道網周路99號4幢21層2103室
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