廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-03

長(zhǎng)期不用需排空真空泵油，清潔泵內(nèi)部；關(guān)閉電源，拔掉插頭；設(shè)備表面用防塵布覆蓋，保持干燥環(huán)境，濕度不超 60%；每月通電一次，運(yùn)行 30 分鐘，防止部件老化。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供長(zhǎng)期閑置設(shè)備保養(yǎng)方案。

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