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工控機(jī)如何實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓傳輸?shù)姆牢⒄窨刂疲?/h1>
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杭州研圖智能科技有限公司2025-08-21

主動(dòng)減震平臺(tái)搭載壓電陶瓷促動(dòng)器，工控機(jī)通過(guò)振動(dòng)傳感器反饋生成反相波形。空氣彈簧與電磁阻尼協(xié)同工作，將地面振動(dòng)衰減至0.1μm@10Hz以下。配合ISO Class 3潔凈環(huán)境，保障12英寸晶圓傳輸過(guò)程粒子附著數(shù)＜3顆/片。

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簡(jiǎn)介：杭州研圖智能科技有限公司作為國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，專注于工控產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與定制，提供智能化服務(wù)和集成方案。
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