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杭州研圖智能科技有限公司2025-09-06
Class 10潔凈室內，工控機控制主動減震系統：通過MEMS加速度計（0.1μg/√Hz噪聲密度）實時監測振動，FPGA生成反相控制信號驅動壓電促動器。空氣彈簧與音圈電機協同工作，將地面振動衰減至0.1μm@10Hz以下。配合氣浮平臺，使12英寸晶圓傳輸過程中的顆粒附著數＜3個/片，滿足先進制程要求。
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