電子特氣系統(tǒng)工程中，管道泄漏會吸入顆粒污染物，因此保壓測試與顆粒度檢測需聯(lián)動(dòng)。例如某半導(dǎo)體廠的特氣管道因閥門泄漏，吸入車間粉塵，導(dǎo)致 0.1 微米顆粒超標(biāo)，影響晶圓質(zhì)量。檢測時(shí)，保壓測試合格（壓力降≤0.5%）后，測顆粒度；若保壓不合格，需修復(fù)后重新檢測。電子特氣系統(tǒng)的管道需采用無縫設(shè)計(jì)，避免死角積塵，而保壓測試能驗(yàn)證焊接和閥門的密封性，顆粒度檢測能驗(yàn)證清潔效果。這種關(guān)聯(lián)檢測能保障特氣潔凈度，符合半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)。高純氣體系統(tǒng)工程的 0.1 微米顆粒度檢測，每立方米顆粒需≤1000 個(gè)，保障氣體潔凈度。中山大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氧含量（ppb級）

尾氣處理系統(tǒng)的管道輸送的多為有毒氣體（如氯氣、硫化氫），泄漏會導(dǎo)致環(huán)境污染與人員中毒，氦檢漏是保障其密封性的關(guān)鍵手段。檢測時(shí)，將尾氣管道抽真空至≤10Pa，在管道內(nèi)側(cè)充入氦氣（壓力 0.1MPa），外側(cè)用氦質(zhì)譜儀掃描，泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。尾氣處理系統(tǒng)的管道多為 FRP（玻璃鋼）或 PVC 材質(zhì)，接頭處若粘結(jié)不牢，易出現(xiàn)微漏；長期使用后，腐蝕會導(dǎo)致管壁變薄，也可能產(chǎn)生泄漏。例如在制藥廠的有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)中，若甲苯尾氣泄漏，會造成 VOCs 超標(biāo)排放，面臨環(huán)保處罰。氦檢漏能準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)這些隱患，確保尾氣 100% 進(jìn)入處理裝置，符合環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。云浮高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測保壓測試高純氣體管道的氦檢漏，需覆蓋所有焊接點(diǎn)，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，確保純度。

電子特氣系統(tǒng)工程中，水分會導(dǎo)致顆粒污染物增多（如金屬氧化物顆粒），因此需關(guān)聯(lián)檢測。例如氟化氫氣體中的水分會與管道內(nèi)壁的金屬反應(yīng)，生成氟化鹽顆粒（0.1-1μm），堵塞閥門。檢測時(shí)，先測水分（≤10ppb），合格后再測顆粒度（0.1μm 及以上顆?！?00 個(gè) /m3）。檢測需關(guān)注特氣的化學(xué)特性 —— 如三氯化硼遇水會水解生成鹽酸和硼酸顆粒，因此這類特氣系統(tǒng)的水分控制需更嚴(yán)格（≤5ppb）。通過關(guān)聯(lián)檢測，可多方面評估氣體潔凈度，避免因水分引發(fā)的顆粒污染，確保電子特氣系統(tǒng)工程滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)要求。

尾氣處理系統(tǒng)的管道若含水分，會影響處理效果，例如在活性炭吸附中，水分會占據(jù)吸附位點(diǎn)，降低對 VOCs 的吸附能力；在催化燃燒中，水分會導(dǎo)致催化劑失活。ppb 級水分檢測需用水分分析儀，在尾氣進(jìn)入處理設(shè)備前采樣，溫度需≤-20℃（對應(yīng)水分≤10700ppb），具體限值根據(jù)處理工藝調(diào)整。尾氣處理系統(tǒng)的管道若未做保溫，會因溫度變化產(chǎn)生冷凝水；風(fēng)機(jī)選型不當(dāng)導(dǎo)致壓力過低，也會吸入環(huán)境空氣中的水分。通過水分檢測，可優(yōu)化系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)（如加熱保溫、調(diào)整風(fēng)機(jī)壓力），確保處理效率，這是第三方檢測機(jī)構(gòu)對尾氣處理系統(tǒng)的重要考核項(xiàng)。尾氣處理系統(tǒng)的水分（ppb 級）檢測≤10000ppb，避免水分影響活性炭吸附效率。

電子特氣系統(tǒng)工程輸送的氣體（如三氟化氮、磷化氫）是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵材料，氧含量超標(biāo)會導(dǎo)致晶圓氧化，影響芯片性能。ppb 級氧含量檢測需采用熒光法氧分析儀，檢測下限可達(dá) 1ppb，在管道運(yùn)行時(shí)連續(xù)監(jiān)測，數(shù)據(jù)需實(shí)時(shí)上傳至控制系統(tǒng)。電子特氣管道多為 316L 不銹鋼電解拋光管，內(nèi)壁粗糙度≤0.2μm，但若安裝時(shí)接觸空氣，或閥門密封不良，會引入氧氣 —— 例如當(dāng)氧含量從 5ppb 升至 20ppb 時(shí)，可能導(dǎo)致柵極氧化層厚度偏差超過 5%。檢測時(shí)需重點(diǎn)關(guān)注特氣鋼瓶切換閥、減壓器等易泄漏部位，一旦發(fā)現(xiàn)氧含量異常，立即停止供氣并排查原因，這是電子特氣系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的 “生命線”。電子特氣系統(tǒng)工程的氧含量檢測，用熒光法分析儀，下限達(dá) 1ppb，確保特氣穩(wěn)定。云浮高純氣體系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測保壓測試

電子特氣系統(tǒng)工程的水分（ppb 級）檢測≤10ppb，防止特氣水解腐蝕管道。中山大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氧含量（ppb級）

實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的保壓測試與水分檢測需形成聯(lián)動(dòng)機(jī)制，因?yàn)楣艿酪坏┬孤?，外界潮濕空氣會直接侵入，?dǎo)致氣體中水分含量驟升，干擾實(shí)驗(yàn)精度。例如氣相色譜儀的載氣（如高純氮?dú)狻⒑猓┤粢蚬艿篮缚p或接頭泄漏吸入空氣，水分含量可能從合格的 10ppb 飆升至 500ppb 以上，而水分會與色譜柱固定相反應(yīng)，導(dǎo)致柱效下降、分離度降低，大幅縮短色譜柱使用壽命（正常壽命 2000 次進(jìn)樣可能縮減至 500 次）。 檢測流程需嚴(yán)格遵循 “保壓優(yōu)先” 原則：先通過氮?dú)獗簻y試（充壓至 0.3MPa 后關(guān)閉閥門，24 小時(shí)壓力降需≤1%），確認(rèn)管道無泄漏后，再用露點(diǎn)儀檢測水分含量（需≤50ppb）；若保壓測試不合格，必須先定位泄漏點(diǎn)（如用肥皂水涂抹接頭觀察氣泡，或用氦檢漏儀準(zhǔn)確排查），修復(fù)后重新保壓，合格方可進(jìn)行水分檢測。中山大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測氧含量（ppb級）