本技術通過以下技術方案來實現上述目的:一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結構、膠面剝離結構,所述主支撐架上方設置有所述橫向支架,所述橫向支架上方設置有所述伺服變頻電機,所述伺服變頻電機上方設置有所述電機減速箱,所述電機減速箱上方安裝有印刷品傳送帶,所述印刷品傳送帶一側安裝有所述印刷品放置箱,所述印刷品放置箱一側安裝有所述表面印刷結構,所述表面印刷結構上方設置有油墨放置箱,所述油墨放置箱下方安裝有油墨加壓器,所述油墨加壓器下方安裝有高壓噴頭,所述高壓噴頭一側安裝有防濺射擋板。什么制程中需要使用剝離液。南通江化微的蝕刻液剝離液哪里買
本實用新型涉及光刻膠生產設備,具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置。背景技術:光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,其是由溶劑、感光樹脂、光引發劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,進行光化學反應,經曝光、顯影等過程,將所需要的微細圖形從掩模版轉移至待加工的襯底上,然后進行蝕刻等工藝加工,終得到所需圖像。其中,溶劑使光刻膠具有流動性,易揮發,對于光刻膠的化學性質幾乎沒有影響。感光樹脂是惰性的聚合物,用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑,給予光刻膠其機械和化學性質。光引發劑是光刻膠中的光敏成分,對光能發生光化學反應。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學物質,用來控制和改變光刻膠材料的特定化學性質或響應特性。在光刻工藝中,一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離。在光刻膠剝離工序中會產生剝離廢液,光刻膠價格昂貴,如不對廢液中的光刻膠成分回收利用,會造成較大的資源浪費,因此企業通常將剝離廢液中的光刻膠樹脂進行有效回收并應用于再生產中。南京中芯國際用剝離液訂做價格質量好的剝離液的公司聯系方式。
按照組成成分和應用工藝不同,濕電子化學品可分為通用性和功能性濕電子化學品。通用濕電子化學品以超凈高純試劑為主,一般為單組份、單功能、被大量使用的液體化學品,按照性質劃分可分為:酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等;堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等;有機溶劑類包括甲醇、乙醇、異丙醇、**、乙酸乙酯等;其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復配類化學品,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎上,加入水、有機溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學品。例如剝離液、顯影液、蝕刻液、清洗液等。由于多數功能濕電子化學品是復配的化學品,是混合物,它的理化指標很難通過普通儀器定量檢測,只能通過應用手段來評價其有效性。
具體實施方式現有技術中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現有技術中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進行加工處理,重新制備剝離液新液的過程中,需要預先制備添加劑,該添加劑中不含有酰胺化合物,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術效果。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業技術人員能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的。剝離液的使用方法和條件;
根據新思界產業研究中心發布的《2020-2024年中國剝離液行業市場供需現狀及發展趨勢預測報告》顯示,剝離液屬于濕電子化學品的重要品類,近幾年受新能源、汽車電子等產業的快速發展,我國濕電子化學品市場規模持續擴增,2019年我國濕電子化學品市場規模達到100億元左右,需求量約為138萬噸。隨著剝離液在半導體產業中的應用增長,剝離液產量以及市場規模隨之擴大,2019年我國半導體用剝離液需求量約為,只占據濕電子化學品總需求量的。從競爭方面來看,當前全球剝離液的生產由濕電子化學品企業主導,主要集中在歐美、日韓以及中國,代表性企業有德國巴斯夫、德國漢高、美國霍尼韋爾、美國ATMI公司、美國空氣化工產品公司、三菱化學、京都化工、住友化學、宇部興產、關東化學,以及中國的江陰江化微、蘇州瑞紅、中國臺灣聯仕電子等企業。剝離液適用于哪些行業。安徽市面上哪家剝離液私人定做
博洋剝離液供應廠商,專業分離設備,智能研發,工程項目,經驗豐富,質量可靠,歡迎隨時來電咨詢!南通江化微的蝕刻液剝離液哪里買
本發明下述示例性實施例可以多種不同的形式來實施,并且不應當被解釋為只限于這里所闡述的具體實施例。應當理解的是,提供這些實施例是為了使得本發明的公開徹底且完整,并且將這些示例性具體實施例的技術方案充分傳達給本領域技術人員。如圖1所示,本發明提供的光刻膠剝離去除方法主要實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執行離子注入:s4,采用氮氫混合氣體執行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離;s5,對襯底表面進行清洗。本發明刻膠剝離去除方法主要實施例采用能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應生成含氨揮發性化合物氣體,與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應速率相等的等離子體氮氫混合氣體能更高效的剝離去除光刻膠,有效降低光刻膠殘留。進而避免由于光刻膠殘留造成對后續工藝的影響,提高產品良率。參考圖11和圖12所示,在生產線上采用本發明的光刻膠剝離去除方法后,監控晶圓產品缺陷由585顆降低到32顆,證明本發明光刻膠剝離去除方法的的改善的產品缺陷,促進了產品良率的提升。南通江化微的蝕刻液剝離液哪里買