真空處理設備技術方案

【產品定位】本設備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發的專業真空處理系統，適用于半導體、精密電子、航空航天等領域的復雜結構工件處理。

【功能】

1.真空置換系統：采用旋片式真空泵組，可在60秒內將工作腔壓力降至10mbar以下，通過動態真空置換技術實現盲孔內空氣的高效抽離

2.智能補液系統：配備流量閉環控制系統，可根據工件孔徑自動調節藥液填充速率，確保微孔填充率≥99.8%

3.工藝可視化：配置5.7英寸工業級觸控屏，實時顯示真空度、液位高度、處理時間等關鍵參數

【技術優勢】

1.采用304不銹鋼內膽+高硼硅玻璃視窗組合，耐酸堿腐蝕且便于觀察

2.可調式硅橡膠密封條配合氣壓補償裝置，確保真空度穩定維持在±0.5mbar

3.模塊化設計支持單工位/雙工位/多工位擴展，處理效率提升40%以上

【應用價值】

通過建立可控的負壓環境，有效解決盲孔類工件因氣穴導致的漏鍍、膜厚不均等問題，使鍍層均勻性提升至±5μm以內，降低不良品率。設備符合ISO9001質量管理體系及CE安全認證，已成功應用于100+客戶的量產線，平均提升良品率25%，降低生產成本18%。

盲孔內壁油污在真空狀態下沸點降低，配合溶劑實現汽化分離，清潔精度可達 Ra0.01μm。微米級盲孔產品電鍍設備

深盲孔精密零件的電鍍前處理，真空處理技術成為關鍵工藝。要點：

一、深度與結構復雜性

深盲孔通常指深度＞5倍孔徑（如孔徑0.2mm，深度＞1mm），傳統常壓清洗難以滲透至底部。復雜結構（如階梯孔、交叉孔）易形成清洗盲區，殘留油污導致電鍍缺陷。

2.材料敏感性

精密零件常用鋁合金、鈦合金或復合材料，需避免堿性腐蝕或高溫變形。微型軸承、傳感器等對尺寸精度要求極高，需防止處理過程中產生應力或污染。

二、真空處理技術的針對性解決方案

1.真空滲透強化

動態壓力差清洗抽真空時盲孔內空氣被排出，注入液體后恢復常壓，液體在壓力差作用下高速填充盲孔，沖刷油污。

超聲協同效應

真空環境中超聲波空化閾值降低（氣泡更易形成），空化氣泡破裂沖擊力增強30%以上，有效剝離盲孔壁附著物。

2.低溫高效脫脂

采用真空+超聲波組合，可在40~50℃下完成傳統60~80℃的脫脂效果，避免高溫對基材的影響。

3.微氣泡破裂清洗

真空沸騰產生的微氣泡直徑10~50μm，可進入孔徑＜0.1mm的盲孔，氣泡破裂時釋放局部高溫（約5000℃）和高壓（約100MPa），分解頑固油污。 貴州零缺陷盲孔產品電鍍設備真空負壓排氣泡，深徑比 10:1 盲孔全滲透！

如何選擇適合的真空除油設備？

針對行業定制化方案的選擇：

1. 航空航天領域

選擇具備 ISO 13009 認證的設備，配置 HEPA 過濾系統（控制顆粒污染）。推薦使用真空超聲波 + 等離子體復合清洗（去除納米級污染物）。

2. 醫療器械行業

罐體材質需為 316L 不銹鋼（符合 FDA 標準），采用雙機械密封防止泄漏。集成微生物檢測模塊（如 ATP 熒光檢測儀）。

3. 電子元件行業配置

真空度梯度控制系統（分步降壓防止元件炸裂）。選用無磷環保脫脂劑（滿足 RoHS 指令）。

微納級盲孔的檢測創新

結合原子力顯微鏡（AFM）和激光誘導擊穿光譜（LIBS）技術，負壓處理后的盲孔檢測精度達到納米級。某MEMS芯片制造商通過三維形貌重構技術，發現傳統檢測方法漏檢的0.5μm級裂紋，使產品可靠性提升兩個數量級。

綠色制造的工藝革新

相比傳統濕法化學處理，負壓干加工技術可減少90%以上的化學試劑使用。某精密模具企業數據顯示，每年可減少危化品消耗45噸，VOCs排放量下降78%，處理成本降低65%，符合歐盟RoHS3.0環保指令要求。 真空環境下除油劑循環流量可降低 60%，減少化學藥劑消耗。

真空除油設備智能環保型：

智能真空除油系統工作流程

AI預處理：通過光譜傳感器實時分析油液污染度，自動匹配比較好處理參數（真空度、溫度、循環次數）；

真空蒸發：在-98kPa真空環境下，油液經紅外加熱至55℃，水分與輕烴類物質快速汽化；

催化凈化：集成貴金屬催化劑模塊，將油液中氧化產物分解為無害成分；

閉環回收：冷凝系統將水蒸氣轉化為液態水排出，凈化后的油液經超濾膜過濾后循環使用

環保性能亮點溶劑消耗量減少92%，年處理500噸油液需補充8L凈化劑配置VOCs冷凝回收裝置，廢氣排放量低于國家標準1/10采用模塊化設計，90%組件可回收再利用 真空除油技術與激光清洗協同應用，可高效去除盲孔內頑固碳化物及氧化物殘留。河北盲孔產品電鍍設備盲孔產品應用

真空負壓 3 秒！0.1mm 微孔油漬無處藏！微米級盲孔產品電鍍設備

盲孔產品電鍍前處理

是確保鍍層和盲孔內壁之間具有良好附著力，以及讓鍍層均勻覆蓋的關鍵環節。

特殊處理（針對深盲孔或復雜結構）有兩種：

1.高壓沖洗：使用高壓水槍（壓力建議大于 5MPa）對盲孔進行沖洗，這樣可以有效孔內殘留的顆粒或者氣泡。

2.真空處理：將盲孔產品放入真空環境中，抽去孔內的空氣，然后再進行液體浸泡，這樣能提高處理溶液的滲透效果。過降低環境氣壓（形成真空狀態），利用物理和化學作用協同提升表面清潔度和鍍層附著力 微米級盲孔產品電鍍設備