1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象,鍍層均勻性達±5%以內。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設備內建HEPA過濾系統,滿足Class 1000以下潔凈環境。
4.高效生產:支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結構表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 節能型電鍍設備集成高頻開關電源,相比傳統硅整流電源省電 30% 以上,降低企業生產成本。安徽防爆型電鍍設備
對比項 傳統滾鍍 半導體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業環境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調 實時閉環控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質)
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優化:通過機器學習預測鍍層缺陷。與CMP(化學機械拋光)、PVD設備聯動,形成全自動金屬化產線
半導體滾鍍設備是封裝與芯片制造的關鍵裝備,通過精密旋轉與鍍液控制,實現納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術在于潔凈環境下的高精度工藝控制 江西電鍍設備生產過程無氰電鍍設備配套活化劑與絡合劑,替代傳統含氰工藝,在保障鍍層質量的同時提升安全性。
其系統包括:
1.電解電源:提供0-24V直流電,電流可達數千安培,適配不同鍍種需求;
2.電解槽:耐腐蝕材質(如PP/PVDF),雙層防漏設計,容積0.5-10m3;
3.電極系統:陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃,陰極掛具定制設計,確保接觸電阻<0.1Ω;
4.控制系統:精細溫控(±1℃)、pH監測(±0.1)及鍍層厚度管理。
設備分類:
掛鍍線:精密件加工,厚度均勻性±5%;
滾鍍系統:小件批量處理,效率3-8㎡/h;
連續電鍍線:帶材/線材高速生產,產能達30㎡/h;
選擇性電鍍:數控噴射,局部鍍層精度±3%。
技術前沿:
脈沖電鍍:納米晶結構(晶粒<50nm),孔隙率降低60%;
復合電鍍:添加納米顆粒(SiC/Al?O?),硬度達HV1200;智能化:機器視覺定位(±0.1mm),大數據實時優化工藝。
環保與應用:閉路水循環(回用率>90%)及重金屬回收技術;汽車(耐鹽霧>720h)、PCB(微孔鍍銅偏差<8%)、航空航天(耐溫800℃)等領域廣泛應用。設備正向高精度、低能耗、智能化發展,納米電鍍等新技術持續突破工藝極限。選型需結合基材特性、鍍層需求及成本綜合考量。
1.前處理系統
對工件表面進行清洗、除油、除銹、磷化(或鈍化)等處理,確保表面潔凈并增強涂層附著力。
設備包括:預清洗槽、脫脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干爐等。
2.電泳槽系統
電泳主槽:容納電泳液,工件在此進行涂裝,槽體需恒溫控制(通常 20~30℃)。
循環過濾系統:保持電泳液均勻,過濾雜質,防止顆粒污染涂層。
電源系統:提供直流電源,控制電壓、電流參數,調節涂層厚度和質量。
超濾(UF)系統:分離電泳液中的水分和雜質,回收涂料并凈化廢水。
3.后處理系統
清洗工序:電泳后水洗(超濾水洗、純水洗)去除工件表面殘留的電泳液,避免雜質影響涂層質量。
烘干固化線:通過烘箱或隧道爐對濕膜進行高溫固化(通常 160~200℃),形成堅硬的漆膜。
4.自動化控制系統
集成 PLC 或工業計算機,控制各工序的時間、溫度、電壓、液位等參數,實現全流程自動化。
配備輸送系統(如懸掛鏈、滾床、機械手),實現工件的連續傳輸。 設備維護系統集成故障診斷模塊,通過傳感器數據預判過濾機堵塞、加熱管老化等問題,減少停機時間。
案例1:MLCC端電極電鍍
流程:陶瓷燒結→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。
設備:濺射鍍膜機+滾鍍線,確保端電極導電性與焊接性。
案例2:薄膜電阻調阻后電鍍
流程:氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調阻→電鍍鎳/錫保護層。
作用:電鍍層防止調阻后的敏感膜層氧化,并提升端面焊接性能。
案例3:功率電感引腳鍍錫
流程:磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風整平。
目標:降低接觸電阻,適應大電流場景。 環保型電鍍設備的廢氣收集系統采用蜂窩狀活性炭吸附塔,深度處理酸霧廢氣,確保排放達標。微弧氧化電鍍設備供應商家
連續鍍設備針對鋼帶、銅線等帶狀材料,通過自動化傳輸實現高速電鍍,常見于電子線路板鍍錫。安徽防爆型電鍍設備
玻璃鋼離心風機是采用玻璃纖維增強塑料(FRP)制造的離心式通風設備,由玻璃鋼葉輪、機殼及金屬支架構成。工作時電機驅動葉輪高速旋轉,通過離心力將氣體甩出機殼,葉輪中心形成負壓持續吸入氣體,實現高效輸送。其特點包括:1. 耐酸堿鹽腐蝕,適用于化工、污水處理等腐蝕性環境;2. 重量輕強度高,便于運輸安裝且結構穩定;3. 低噪音設計,適合對環境要求高的場所;4. 可定制化適配不同風量風壓需求。廣泛應用于工業廢氣處理(如化工廢氣、冶金粉塵)、環保工程(污水處理廠除臭、垃圾站換氣)及民用通風(商場空調、住宅排油煙)等領域,兼具耐候性與經濟性安徽防爆型電鍍設備