半導體滾鍍設備

是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備，主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝，實現高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求

與傳統滾鍍不同，半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

三、設備組成

1.電鍍槽：

材質：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環系統：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質

2.旋轉載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩旋轉

轉速控制：通過伺服電機調節轉速，優化鍍層均勻性

3.陽極系統：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調節：控制電場分布，減少邊緣效應

4.供液與噴淋系統：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調節鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數 掛具設計作為電鍍設備附件，采用導電性能優異的銅合金或不銹鋼，減少接觸電阻以保障電流均勻傳導。微型電鍍設備周邊設備

全自動磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉載具確保鍍液流動均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術特點

1.高均勻性：

旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象，鍍層均勻性達±5%以內。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設備內建HEPA過濾系統，滿足Class 1000以下潔凈環境。

4.高效生產：支持多片晶圓同時處理（如6片/批次），UPH（每小時產量）可達50~100片。

應用場景

1.先進封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結構表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 四川電鍍設備供應商納米鍍層設備通過超聲攪拌與脈沖電源結合，制備微米級致密鍍層，滿足航空航天部件的超高防腐需求。

超聲波清洗設備在精密電鍍中的應用：

超聲波清洗機通過高頻振動提升前處理效果。設備采用28kHz與40kHz雙頻組合技術，既能去除大面積油污，又能深入盲孔和微縫隙清潔。精密模具廠在鍍前處理中引入超聲波清洗，使鍍層結合力從3N/cm提升至5N/cm，漏鍍率下降70%。設備配備循環過濾系統，將清洗液中固體顆粒控制在5μm以下，延長藥液使用壽命。在貴金屬電鍍中，超聲波輔助化學除油可減少50%的氫氧化鈉用量，降低廢水處理負荷。通過優化清洗時間和功率參數，該設備適用于手機外殼、航空緊固件等高精度工件的預處理。

玻璃鋼離心風機是采用玻璃纖維增強塑料（FRP）制造的離心式通風設備，由玻璃鋼葉輪、機殼及金屬支架構成。工作時電機驅動葉輪高速旋轉，通過離心力將氣體甩出機殼，葉輪中心形成負壓持續吸入氣體，實現高效輸送。其特點包括：1. 耐酸堿鹽腐蝕，適用于化工、污水處理等腐蝕性環境；2. 重量輕強度高，便于運輸安裝且結構穩定；3. 低噪音設計，適合對環境要求高的場所；4. 可定制化適配不同風量風壓需求。廣泛應用于工業廢氣處理（如化工廢氣、冶金粉塵）、環保工程（污水處理廠除臭、垃圾站換氣）及民用通風（商場空調、住宅排油煙）等領域，兼具耐候性與經濟性電鍍電源設備提供穩定直流電流，支持恒流恒壓調節，直接影響鍍層厚度與質量均勻性。

電鍍自動線是通過自動化設備實現連續生產的電鍍系統，主要類型及特點如下：

主流自動線類型

1.龍門式自動線

結構：多工位龍門機械手驅動，PLC控制

特點：精度高（±0.1mm），適用于精密件（如汽車部件、電子接插件）

產能：單線日處理量可達5000-10000件

2.環形垂直升降線

結構：環形軌道+升降機，連續循環作業

特點：節拍快（20-40秒/掛），適合中小型工件（如五金件、衛浴配件）

優勢：占地小，能耗低（節電30%以上）

3.滾鍍自動線

結構：六角滾筒+變頻驅動，批量處理小型零件（螺絲、紐扣）

參數：滾筒轉速3-10rpm，裝載量50-200kg/批

鍍層均勻性：±15%，效率達8㎡/h

4.連續電鍍線

類型：帶材/線材電鍍（如PCB銅箔、銅線）

技術：張力控制+多槽串聯，速度可達10-30m/min

精度：鍍層厚度偏差＜5%

5.機器人電鍍線

配置：六軸機器人+視覺定位

系統應用：復雜曲面工件（汽車輪轂、航空部件）

優勢：柔性生產，支持多品種切換

應用領域

汽車：鍍鋅螺栓、輪轂鍍鉻

電子：PCB微孔鍍銅、連接器鍍金

五金：衛浴配件鍍鎳、鎖具鍍鋅 檢測設備配備 X 射線測厚儀與 pH 傳感器，在線監測鍍層厚度及藥液參數，實時反饋并修正工藝偏差。江西高精密電鍍設備

掛鍍導電裝置采用磷銅合金掛具，表面鍍硬鉻增強導電性，減少接觸電阻導致的鍍層不均問題。微型電鍍設備周邊設備

電鍍設備是通過電解反應在物體表面沉積金屬層的裝置，用于形成保護性或功能性涂層。

其系統包括：

電解電源：提供0-24V直流電，電流可達數千安培，適配不同鍍種需求；

電解槽：耐腐蝕材質（如PP/PVDF），雙層防漏設計，容積0.5-10m3；

電極系統：陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃，陰極掛具定制設計，確保接觸電阻＜0.1Ω；

控制系統：精細溫控（±1℃）、pH監測（±0.1）及鍍層厚度管理。

設備分類：

掛鍍線：精密件加工，厚度均勻性±5%；

滾鍍系統：小件批量處理，效率3-8㎡/h；

連續電鍍線：帶材/線材高速生產，產能達30㎡/h；

選擇性電鍍：數控噴射，局部鍍層精度±3%。 微型電鍍設備周邊設備