是專為電感類電子元件(如線圈、磁芯、電感器等)設(shè)計的電鍍加工設(shè)備,其特點是采用雙滾筒結(jié)構(gòu),結(jié)合滾鍍工藝,以實現(xiàn)小型電感元件的高效、均勻鍍層處理。
雙滾筒設(shè)計:兩個滾筒可同時或交替運行,一桶裝卸時另一桶持續(xù)工作,減少停機時間,提升產(chǎn)能。
滾筒優(yōu)化:采用絕緣耐腐蝕材質(zhì)(如PP),開孔設(shè)計促進鍍液流通,防纏繞結(jié)構(gòu)適配電感元件的細小特性。
滾鍍工藝:元件在滾筒內(nèi)翻滾,通過電流作用均勻沉積鍍層(如鎳、錫、銀),雙桶可調(diào)控轉(zhuǎn)速、電流等參數(shù)。
高效連續(xù)生產(chǎn):雙桶交替作業(yè)支持大規(guī)模電鍍,尤其適合貼片電感(SMD)、磁環(huán)等小件批量處理。
鍍層均勻穩(wěn)定:滾筒旋轉(zhuǎn)避免元件堆積死角,結(jié)合陰極導(dǎo)電設(shè)計,確保復(fù)雜形狀表面鍍覆一致性。
低損傷高適配:柔和翻滾減少碰撞損耗,可適配防腐、可焊、導(dǎo)電等多種鍍層工藝需求。
典型場景:貼片電感、繞線電感、磁芯等鍍鎳(抗氧化)、鍍錫(焊接)或鍍銀(高導(dǎo))處理。
關(guān)鍵注意:需匹配元件尺寸選擇滾筒孔徑,定期維護鍍液成分及導(dǎo)電觸點,避免漏料或鍍層缺陷。 掛鍍導(dǎo)電裝置采用磷銅合金掛具,表面鍍硬鉻增強導(dǎo)電性,減少接觸電阻導(dǎo)致的鍍層不均問題。河南手動電鍍設(shè)備
1.高精度與自動化:
引入AI視覺檢測,實時監(jiān)控鍍層均勻性,自動調(diào)整工藝參數(shù)。
電鍍設(shè)備與前后道工序(如激光調(diào)阻、包封)集成,形成全自動產(chǎn)線。
2.綠色電鍍技術(shù):
推廣無氰電鍍、低COD(化學(xué)需氧量)鍍液,減少廢水處理成本。
開發(fā)脈沖電鍍技術(shù),降低金屬消耗量(節(jié)約30%以上)。
3.新型鍍層材料:
納米復(fù)合鍍層(如Ni-PTFE)提升耐磨性,適用于高頻電感。
低溫電鍍工藝適配柔性基板(如可穿戴設(shè)備用薄膜電容)。 河南環(huán)保型電鍍設(shè)備自動化電鍍線的機器人上下料系統(tǒng),通過視覺識別定位工件,實現(xiàn)高精度無人化操作。
1.前處理系統(tǒng)
對工件表面進行清洗、除油、除銹、磷化(或鈍化)等處理,確保表面潔凈并增強涂層附著力。
設(shè)備包括:預(yù)清洗槽、脫脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干爐等。
2.電泳槽系統(tǒng)
電泳主槽:容納電泳液,工件在此進行涂裝,槽體需恒溫控制(通常 20~30℃)。
循環(huán)過濾系統(tǒng):保持電泳液均勻,過濾雜質(zhì),防止顆粒污染涂層。
電源系統(tǒng):提供直流電源,控制電壓、電流參數(shù),調(diào)節(jié)涂層厚度和質(zhì)量。
超濾(UF)系統(tǒng):分離電泳液中的水分和雜質(zhì),回收涂料并凈化廢水。
3.后處理系統(tǒng)
清洗工序:電泳后水洗(超濾水洗、純水洗)去除工件表面殘留的電泳液,避免雜質(zhì)影響涂層質(zhì)量。
烘干固化線:通過烘箱或隧道爐對濕膜進行高溫固化(通常 160~200℃),形成堅硬的漆膜。
4.自動化控制系統(tǒng)
集成 PLC 或工業(yè)計算機,控制各工序的時間、溫度、電壓、液位等參數(shù),實現(xiàn)全流程自動化。
配備輸送系統(tǒng)(如懸掛鏈、滾床、機械手),實現(xiàn)工件的連續(xù)傳輸。
按電鍍工藝藥劑添加
分化學(xué)鎳自動加藥設(shè)備:通過先進傳感器和控制系統(tǒng),實時監(jiān)測化學(xué)鎳溶液濃度、pH值、溫度等參數(shù),依預(yù)設(shè)工藝要求自動調(diào)整添加劑加入量,保障溶液穩(wěn)定性,提高電鍍產(chǎn)品一致性與質(zhì)量。還具備高效節(jié)能特點,減少化學(xué)品浪費與環(huán)境污染,同時減輕工人勞動強度。
電鍍藥水全自動添加系統(tǒng):如秒準(zhǔn)MAZ-XR300A18,基于莫塞萊定律和比爾-朗伯定律,利用軟X射線和可見光譜對電鍍液中金屬離子(如Ni2?、Sn2?等)和非金屬組分(如磷酸、氫氧化鈉等添加劑)進行定性、定量分析。具備自清洗功能,支持多通道采樣,可全組分在線分析,適用于高溫強腐蝕性環(huán)境,安全性高。
pH自動加藥機:用于維持電鍍液pH值穩(wěn)定。電鍍過程中,pH值變化會影響鍍層質(zhì)量,該設(shè)備通過pH傳感器實時監(jiān)測,當(dāng)pH值偏離設(shè)定范圍,自動控制加酸或加堿泵添加相應(yīng)藥劑,使pH值保持在合適區(qū)間。
光亮劑自動加藥機:光亮劑能提升電鍍層光亮程度和表面質(zhì)量。此設(shè)備依據(jù)電鍍液中光亮劑濃度變化,自動添加光亮劑,保證鍍層外觀質(zhì)量穩(wěn)定,避免因光亮劑不足或過量導(dǎo)致鍍層發(fā)暗、出現(xiàn)條紋等問題。 滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質(zhì)打孔設(shè)計,確保電解液流通,配合變頻電機調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,保障小件鍍層均勻。
1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計減少“邊緣增厚”現(xiàn)象,鍍層均勻性達±5%以內(nèi)。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設(shè)備內(nèi)建HEPA過濾系統(tǒng),滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。
4.高效生產(chǎn):支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產(chǎn)量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結(jié)構(gòu)表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 廢氣處理設(shè)備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔,中和電鍍過程中揮發(fā)的酸堿廢氣,符合環(huán)保排放要求。河南環(huán)保型電鍍設(shè)備
鍍鎳設(shè)備配套活性炭吸附裝置,定期去除鍍液中有機雜質(zhì),防止細孔、麻點等鍍層缺陷。河南手動電鍍設(shè)備
是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備,主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝,實現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求
與傳統(tǒng)滾鍍不同,半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導(dǎo)線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質(zhì):耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環(huán)系統(tǒng):維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質(zhì)
2.旋轉(zhuǎn)載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速控制:通過伺服電機調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,優(yōu)化鍍層均勻性
3.陽極系統(tǒng):
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調(diào)節(jié):控制電場分布,減少邊緣效應(yīng)
4.供液與噴淋系統(tǒng):
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調(diào)節(jié)鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統(tǒng):
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數(shù) 河南手動電鍍設(shè)備