在光伏行業(yè)的硅烷氣體輸送系統(tǒng)中,上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)展現(xiàn)了優(yōu)越性能。該產(chǎn)品采用特殊表面處理工藝,對硅烷氣體具有優(yōu)異的化學穩(wěn)定性,不會引發(fā)自燃反應。其內(nèi)部流道經(jīng)過CFD優(yōu)化設(shè)計,表面粗糙度小于0.25μm,確保氣體流動平穩(wěn)無湍流。在多晶硅CVD沉積設(shè)備中,該壓力表1.0%FS的精度為工藝控制提供了關(guān)鍵參數(shù)。上海賽途儀器儀表有限公司還提供經(jīng)過SEMI認證的超高純版本,金屬離子釋放量小于1ppb,完全滿足光伏級硅材料生產(chǎn)的要求,為可再生能源發(fā)展提供了技術(shù)支持。儀表顯示清晰,便于快速讀取。SEMI F20100超高純壓力表執(zhí)行標準
上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)在核能工業(yè)中具有重要應用價值。該產(chǎn)品采用特殊處理的316L不銹鋼材質(zhì),具有優(yōu)異的抗輻射性能,能夠在核電站等特殊環(huán)境中穩(wěn)定工作。其氦氣測漏100%通過的特性,確保了核設(shè)施的高度密封安全性。內(nèi)部表面光滑度小于0.25um的設(shè)計,有效減少了放射性物質(zhì)的附著。量程范圍-0.1~60MPa完全覆蓋了核能系統(tǒng)的壓力測量需求。上海賽途儀器儀表有限公司通過這款產(chǎn)品,為核能工業(yè)提供了安全可靠的監(jiān)測設(shè)備。SEMI F20100超高純壓力表執(zhí)行標準適用于光伏制造設(shè)備。
上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)在半導體晶圓制造過程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。該產(chǎn)品采用VIM-VAR 316L超潔凈不銹鋼材質(zhì),其內(nèi)部表面粗糙度嚴格控制在0.25μm以下,完全滿足半導體制造對超高潔凈度的嚴苛要求。在晶圓生產(chǎn)的關(guān)鍵制程中,如化學氣相沉積(CVD)和蝕刻工藝,該壓力表能夠精確監(jiān)測工藝氣體的壓力變化,確保制程穩(wěn)定性。其獨特的1/2M-VCR和1/2F-VCR連接方式,不僅保證了氣密性,還便于與半導體設(shè)備快速對接。上海賽途儀器儀表有限公司通過持續(xù)創(chuàng)新,使該產(chǎn)品在14nm以下先進制程中都能保持優(yōu)越性能,為國內(nèi)半導體設(shè)備國產(chǎn)化提供了重要支持。
上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)在超純氣體運輸領(lǐng)域表現(xiàn)尤為突出。其接液材質(zhì)采用VIM-VAR 316L,能夠抵抗高純度氣體的腐蝕,確保長期使用的穩(wěn)定性。量程范圍覆蓋-0.1~60MPa,適用于多種壓力條件下的測量需求。內(nèi)部表面光滑度小于0.25um,有效減少介質(zhì)殘留,保證氣體純度。顆粒物控制嚴格,0.1um顆粒物少于15個,符合SEMI標準。氦氣測漏100%通過,杜絕了泄漏風險。上海賽途儀器儀表有限公司通過這款產(chǎn)品,為超純氣體運輸行業(yè)提供了高精度、高可靠性的測量工具。YTJ-10E符合ISO國際標準要求。
在新能源領(lǐng)域,特別是氫能源系統(tǒng)中,上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)發(fā)揮著重要作用。該產(chǎn)品采用VIM-VAR 316L材質(zhì),具有優(yōu)異的抗氫脆性能,能夠安全可靠地用于高壓氫氣環(huán)境。其氦氣測漏100%通過的特性,確保了氫氣系統(tǒng)的高度密封性。量程范圍-0.1~60MPa完全覆蓋了氫能源儲存和運輸?shù)膲毫y量需求。內(nèi)部表面光滑度小于0.25um的設(shè)計,有效減少了氫氣中的雜質(zhì)吸附。上海賽途儀器儀表有限公司憑借這款產(chǎn)品,為新能源行業(yè)提供了專業(yè)的安全監(jiān)測設(shè)備。儀表響應時間<1秒,實時監(jiān)測壓力變化。SEMI F20100超高純壓力表執(zhí)行標準
可提供第三方檢測報告。SEMI F20100超高純壓力表執(zhí)行標準
在科研機構(gòu)中,上海賽途儀器儀表有限公司的100超高純壓力表(YTJ-10E/YTJ-10EZ)成為重要的實驗設(shè)備。該產(chǎn)品的高精度特性(1.0%FS)能夠滿足各類科研實驗的嚴格要求。其采用VIM-VAR 316L材質(zhì),確保在特殊實驗環(huán)境下的穩(wěn)定性能。內(nèi)部表面光滑度小于0.25um的設(shè)計,有效避免了實驗干擾因素。顆粒物控制達到0.1um小于15個的標準,符合高潔凈度實驗的要求。上海賽途儀器儀表有限公司通過這款產(chǎn)品,為科研工作提供了專業(yè)的測量支持,助力科技創(chuàng)新發(fā)展。SEMI F20100超高純壓力表執(zhí)行標準