63 超高純壓力表的精度等級(jí)分為 A 級(jí)，包含 2%/1%/2% 三個(gè)精度級(jí)別，用戶可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的精度。在對(duì)壓力測(cè)量精度要求極高的生物科技和實(shí)驗(yàn)室研究中，1% 的高精度級(jí)別能夠?yàn)閷?shí)驗(yàn)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可靠性。而在一些對(duì)精度要求相對(duì)較低，但仍需要穩(wěn)定可靠測(cè)量的工業(yè)場(chǎng)景中，2% 的精度級(jí)別也能滿足需求。上 海賽途儀器儀表有限公司通過(guò) 提供多種精度選擇，充分體現(xiàn)了產(chǎn)品的靈活性和對(duì)不同客戶需求的精細(xì)匹配，該壓力表都能提供高精度的壓力測(cè)量，為科研工作的順利開(kāi)展提供有力支持，成為這些行業(yè)不可或缺的重要工具。低功耗設(shè)計(jì)，節(jié)能環(huán)保。運(yùn)輸63超高純壓力表

在特種氣體行業(yè)，上海賽途儀器儀表有限公司的63超高純壓力表（YTJ-63E/YTJ-63EZ）樹(shù)立了新的技術(shù)旗幟。特種氣體如硅烷、磷烷等具有極強(qiáng)的腐蝕性和危險(xiǎn)性，對(duì)壓力測(cè)量設(shè)備提出極高要求。這款壓力表采用專利設(shè)計(jì)的雙重隔離結(jié)構(gòu)，接液部分使用經(jīng)過(guò)特殊鈍化處理的VIM-VAR 316L材質(zhì)，可耐受絕大多數(shù)腐蝕性氣體。表盤采用防爆設(shè)計(jì)的白色鋁材，符合ATEX防爆認(rèn)證要求。連接方式采用金屬密封的VCRM接口，配備二次密封結(jié)構(gòu)，確保***安全。內(nèi)部采用全焊接結(jié)構(gòu)，徹底消除泄漏風(fēng)險(xiǎn)。表面處理達(dá)到醫(yī)療級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，粗糙度小于0.2μm，顆粒物控制優(yōu)于SEMI F20規(guī)范。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的壽命測(cè)試，在腐蝕性氣體環(huán)境中可穩(wěn)定工作5年以上。這些創(chuàng)新設(shè)計(jì)使其成為特種氣體儲(chǔ)運(yùn)和分配系統(tǒng)的主要安全組件。運(yùn)輸63超高純壓力表漏率檢測(cè)≤1.01×10ˉ? pa·m3/s，密封性好。

在真空技術(shù)領(lǐng)域，上海賽途儀器儀表有限公司的63超高純壓力表（YTJ-63E/YTJ-63EZ）展現(xiàn)出優(yōu)越性能。高真空系統(tǒng)對(duì)壓力測(cè)量設(shè)備的放氣率和密封性有嚴(yán)格要求，這款壓力表采用特殊設(shè)計(jì)的全金屬密封結(jié)構(gòu)。接液部分使用經(jīng)過(guò)高溫烘烤處理的VIM-VAR 316L不銹鋼，放氣率低于1×10-10mbar·L/s·cm2。表盤采用真空兼容的白色鋁材，經(jīng)過(guò)特殊除氣處理。連接方式采用CF法蘭或KF快卸法蘭，滿足不同真空系統(tǒng)的安裝需求。內(nèi)部采用無(wú)脂潤(rùn)滑技術(shù)，避免真空污染。表面處理達(dá)到鏡面級(jí)光潔度，粗糙度小于0.1μm，優(yōu)于大多數(shù)真空部件標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)72小時(shí)高溫烘烤測(cè)試和質(zhì)譜檢漏測(cè)試，完全符合超高真空系統(tǒng)的使用要求。這些創(chuàng)新設(shè)計(jì)使其成為半導(dǎo)體鍍膜、空間模擬等**真空應(yīng)用的理想選擇。

63 超高純壓力表的機(jī)芯同樣采用 316L 材質(zhì)，這與接液材質(zhì)相匹配，進(jìn)一步增強(qiáng)了壓力表的整體耐用性。上海賽途儀器儀表有限公司深知機(jī)芯對(duì)于壓力表性能的關(guān)鍵作用，因此在選材和制造工藝上都投入了大量精力。內(nèi)部表面光滑度小于 0.25um，如此高的光滑度有效減少了介質(zhì)在表內(nèi)流動(dòng)時(shí)的阻力，避免了雜質(zhì)的附著和積聚，保證了壓力測(cè)量的準(zhǔn)確性。在超純氣體運(yùn)輸?shù)葘?duì)介質(zhì)純凈度要求苛刻的應(yīng)用中，這種設(shè)計(jì)能夠確保壓力表長(zhǎng)期穩(wěn)定地工作，為整個(gè)系統(tǒng)的正常運(yùn)行提供可靠保障。安裝簡(jiǎn)單，操作便捷。

上海賽途儀器儀表有限公司的63超高純壓力表（YTJ-63E/YTJ-63EZ）在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用尤為普遍。其高潔凈度和精細(xì)測(cè)量能力完全符合半導(dǎo)體制造對(duì)氣體純度的苛刻要求。接液材質(zhì)采用316L不銹鋼或VIM-VAR 316L，避免引入雜質(zhì)。表盤為白色鋁材質(zhì)，清晰顯示壓力數(shù)據(jù)。連接方式為1/4M-VCR和1/4F-VCR，確保密封性。內(nèi)部機(jī)芯表面光滑度小于0.25um，顆粒物少于15個(gè)（0.1um），符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)EP級(jí)潔凈度。量程范圍-0.1～28MPa，覆蓋半導(dǎo)體工藝中的多種壓力場(chǎng)景。精度等級(jí)為A級(jí)，提供2%、1%或2%的選項(xiàng)，滿足高精度測(cè)量需求。這款壓力表是半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體系統(tǒng)的可靠伙伴。結(jié)構(gòu)緊湊，適合空間受限的安裝場(chǎng)景。運(yùn)輸63超高純壓力表

1/4M-VCR和1/4F-VCR連接滿足不同需求。運(yùn)輸63超高純壓力表

上海賽途儀器儀表有限公司致力于為客戶提供質(zhì)量的產(chǎn)品，這款 63 超高純壓力表的表盤設(shè)計(jì)也獨(dú)具匠心。表盤采用鋁材質(zhì)，呈現(xiàn)出純凈的白色，不僅清晰易讀，而且在各種光線條件下都能讓操作人員準(zhǔn)確獲取壓力數(shù)據(jù)。連接方式采用 1/4M - VCR 和 1/4F - VCR，這種連接方式緊密可靠，能有效防止氣體泄漏，確保在超純氣體運(yùn)輸過(guò)程中，壓力測(cè)量的精細(xì)性不受影響。在電子產(chǎn)品、醫(yī)療、生物科技和實(shí)驗(yàn)室等對(duì)環(huán)境潔凈度和壓力測(cè)量精度要求極高的領(lǐng)域，該壓力表的表盤和連接設(shè)計(jì)充分滿足了實(shí)際使用需求。運(yùn)輸63超高純壓力表