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熱處理模塊對光刻膠有什么影響？?

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無錫凡華半導體科技有限公司2025-08-14

光刻膠對溫度很靈敏，少量溫度變化對先進制程的光刻膠膜厚影響較大。熱處理模塊中的熱板需嚴格確保溫度加熱的均勻性，并對升溫過程的精確度提出高標準要求，保證光刻工藝質量。?

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