上海倍藍(lán)光電科技有限公司2025-09-14

倍藍(lán)石英晶體膜厚儀采用6MHz高精度傳感器，其質(zhì)量靈敏度為0.1ng/cm2，可實時顯示0.01nm的厚度變化。傳感器探頭耐高溫設(shè)計，可直接安裝于鍍膜機(jī)真空室內(nèi)，工作溫度范圍-50至150℃。倍藍(lán)特有的溫度-頻率復(fù)合補(bǔ)償技術(shù)，消除了鍍膜過程中溫度波動導(dǎo)致的測量誤差。在某光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線應(yīng)用中，成功將膜厚均勻性控制精度提升至±0.8%。儀器標(biāo)配4通道監(jiān)測系統(tǒng)，可同時跟蹤多個工位的鍍膜進(jìn)度，并通過Modbus協(xié)議與PLC系統(tǒng)實時通信。

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