江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-10-05

光電芯片生產(chǎn)中，載盤的平面度直接決定了晶圓受熱均勻性。普通石英盤在高溫下容易變形，影響制程精度。碳化硅陶瓷強(qiáng)度高、熱膨脹系數(shù)低，能夠在長時(shí)間高溫使用中保持幾何形狀穩(wěn)定。同時(shí)，碳化硅可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)加工精度和鏡面拋光，保證平面度和光潔度，減少顆粒污染。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司生產(chǎn)高精度碳化硅載盤，適用于光電設(shè)備，更多詳情請(qǐng)登錄官網(wǎng)。

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