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斜桿放料閥如何滿足高真空工況的密封要求？

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溫州太科閥門科技有限公司2025-09-06

斜桿放料閥采用金屬波紋管密封結構，波紋管材質為Inconel X-750，彈性極限達1000MPa；實測在10??Pa高真空工況下，泄漏率≤1×10?12 Pa·m3/s，滿足半導體設備真空密封標準。

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簡介：專注于高平臺球閥、斜桿放料閥、薄型高平臺球閥、控制閥，秉持“顧客至上誠信為本”的經營理念，歡迎洽談咨
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