能量色散X射線光譜（EDX）原理 　　能量色散X射線光譜（EDX）基于XRF原理，利用半導(dǎo)體探測器直接測量X射線光子的能量。當(dāng)樣品受激發(fā)產(chǎn)生X射線熒光后，不同能量的光子被探測器捕獲，探測器將光子轉(zhuǎn)化為電脈沖信號(hào)。通過多道脈沖分析器對(duì)電脈沖信號(hào)進(jìn)行處理，按照能量大小分類并統(tǒng)計(jì)，繪制出能量-計(jì)數(shù)率的光譜圖。依據(jù)特征能量峰的位置和強(qiáng)度，確定元素種類與含量，該方法無需晶體分光，能快速同時(shí)分析多種元素，適合RoHS檢測的快速篩查需求。

波長色散X射線光譜（WDX）原理 　　波長色散X射線光譜（WDX）同樣以XRF為基礎(chǔ)，通過晶體分光來分離不同波長的X射線。樣品產(chǎn)生的X射線熒光經(jīng)準(zhǔn)直器后，照射到晶體分光器上，根據(jù)布拉格衍射原理，不同波長的X射線在晶面上以特定角度發(fā)生衍射。探測器在相應(yīng)角度接收衍射后的X射線，依據(jù)晶體的晶格常數(shù)和衍射角度，計(jì)算出X射線的波長，從而確定元素種類；通過測量特征X射線強(qiáng)度來計(jì)算元素含量。WDX分辨率高，定量分析準(zhǔn)確，在RoHS檢測中對(duì)元素精確定量有重要應(yīng)用。