為滿足半導體行業的快速交付需求,中清航科建立了高效的設備生產與交付體系。采用柔性化生產模式,標準型號切割設備可實現7天內快速發貨,定制化設備交付周期控制在30天以內。同時提供門到門安裝調試服務,配備專業技術團隊全程跟進,確保設備快速投產。在晶圓切割的工藝參數優化方面,中清航科引入實驗設計(DOE)方法。通過多因素正交試驗,系統分析激光功率、切割速度、焦點位置等參數對切割質量的影響,建立參數優化模型,可在20組實驗內找到比較好工藝組合,較傳統試錯法減少60%的實驗次數,加速新工藝開發進程。中清航科切割耗材全球供應鏈,保障客戶生產連續性。金華sic晶圓切割藍膜
針對晶圓切割后的表面清潔度要求,中清航科在設備中集成了在線等離子清洗模塊。切割完成后立即對晶圓表面進行等離子處理,去除殘留的切割碎屑與有機污染物,清潔度達到Class10標準。該模塊可與切割流程無縫銜接,減少晶圓轉移過程中的二次污染風險。中清航科注重晶圓切割設備的人性化設計,操作界面采用直觀的圖形化布局,支持多語言切換與自定義快捷鍵設置。設備配備可調節高度的操作面板與符合人體工學的扶手設計,減少操作人員長時間工作的疲勞感,同時提供聲光報警與故障提示,使操作更便捷高效。金華碳化硅半導體晶圓切割刀片切割粉塵回收模塊中清航科集成,重金屬污染減排90%以上。
中清航科開放6條全自動切割產線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區,剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數組合。客戶輸入晶圓類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數包,工藝開發周期縮短90%。
晶圓切割/裂片是芯片制造過程中的重要工序,屬于先進封裝(advancedpackaging)的后端工藝(back-end)之一,該工序可以將晶圓分割成單個芯片,用于隨后的芯片鍵合。隨著技術的不斷發展,對高性能和更小型電子器件的需求增加,晶圓切割/裂片精度及效率控制日益不可或缺。晶圓切割的重要性在于它能夠在不損壞嵌入其中的精細結構和電路的情況下分離單個芯片,成功與否取決于分離出來的芯片的質量和產量,以及整個過程的效率。為了實現這些目標,目前已經開發了多種切割技術,每種技術都有其獨特的優點和缺點。中清航科真空吸附晶圓托盤,解決超薄晶圓切割變形難題。
半導體制造對潔凈度要求嚴苛,晶圓切割環節的微塵污染可能導致芯片失效。中清航科的切割設備采用全封閉防塵結構與高效HEPA過濾系統,工作區域潔凈度達到Class1標準,同時配備激光誘導等離子體除塵裝置,實時清理切割產生的微米級顆粒,使產品不良率降低至0.1%以下。在成本控制成為半導體企業核心競爭力的現在,中清航科通過技術創新實現切割耗材的大幅節約。其自主研發的金剛石切割刀片,使用壽命較行業平均水平延長50%,且通過刀片磨損實時監測與自動補償技術,減少頻繁更換帶來的停機損失,幫助客戶降低20%的耗材成本,在激烈的市場競爭中構筑成本優勢。12英寸晶圓切割中清航科解決方案突破產能瓶頸,良率99.3%。臺州碳化硅半導體晶圓切割廠
晶圓切割后清洗設備中清航科專利設計,殘留顆粒<5個/片。金華sic晶圓切割藍膜
中清航科為晶圓切割設備提供全生命周期的服務支持,從設備安裝調試、操作人員培訓、工藝優化指導到設備升級改造,形成完整的服務鏈條。建立客戶服務檔案,定期進行設備巡檢與性能評估,根據客戶的生產需求變化提供定制化的升級方案,確保設備始終保持先進的技術水平。隨著半導體技術向更多新興領域滲透,晶圓切割的應用場景不斷拓展。中清航科積極布局新興市場,開發適用于可穿戴設備芯片、柔性電子、生物芯片等領域的切割設備。例如,針對柔性晶圓的切割,采用低溫冷凍切割技術,解決柔性材料切割時的拉伸變形問題,為新興半導體應用提供可靠的制造保障。金華sic晶圓切割藍膜